推薦主題
查看: 6540|回復: 0
打印 上一主題 下一主題

秒开的幸运快三平台: 甲烷濃度對于金剛石膜二次形核的影響

[復制鏈接] qrcode

36

主題

36

帖子

160

積分

注冊會員

Rank: 2

積分
160
樓主
跳轉到指定樓層
發表于 2018-5-3 16:56:33 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
甲烷濃度對于金剛石膜二次形核的影響
王小安,汪建華,翁俊,黃平
武漢工程大學材料科學與工程學院湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室
INFLUENCE OF METHANE CONCENTRATION ON RENUCLEATION IN DIAMOND FILMS
WANG Xiao-an,WANG Jian-hua,WENG Jun,HUANG Ping
Provincial Key Laboratory of Plasma Chemistry and Advanced Materials,School of Materials Science and Engineering,Wuhan Institute of Technology

摘要 采用實驗室研制的石英鐘罩式MPCVD裝置,在低功率(950 W)條件下,以H2-CH4為反應氣源,在不同甲烷濃度下沉積了金剛石膜。利用掃描電子顯微鏡、激光拉曼光譜及X射線衍射儀等對金剛石膜二次形核現象進行了分析。實驗結果表明:甲烷濃度變化對金剛石膜沉積過程中二次形核有不同程度的影響。甲烷濃度由1.0%上升到2.5%時,薄膜中二次形核現象逐漸增加,晶粒尺寸逐漸減小,金剛石相含量下降,晶面取向由(111)面轉變為(220)面以及(311)面。

關鍵詞 : 二次形核,  甲烷濃度,  微波等離子體,  金剛石膜   

Abstract:Polycrystalline diamond films were produced at different concentration of CH4 through bell-jar type microwave plasma chemical vapor deposition apparatus at low power,using H2-CH4 as source gas. The renucleation of diamond films was examined and analyzed by using scanning electron microscopy,X-ray diffraction and Raman spectroscopy. The results show that the methane concentration has a significant effect on the renucleation of diamond films. With the increase of the concentration ratio of methane(1.0%~2.5%),the renucleation ratio was increased,the grain sizes were decreased as well as the diamond phase. While the diamond film gradually tend from(111)to(220)and(311)faces growth.

Key words: renucleation           methane concentration           microwave plasma           diamond film

基金資助:國家自然科學基金(11175137)、湖北省教育廳項目(Q20151517)

作者簡介: 王小安(1990-),男,湖北荊州人,碩士,主要從事等離子體應用研究。

引用本文: 王小安,汪建華,翁俊,黃平. 甲烷濃度對于金剛石膜二次形核的影響[J]. 真空與低溫, 2016, 22(2): 114-118.       
WANG Xiao-an,WANG Jian-hua,WENG Jun,HUANG Ping. INFLUENCE OF METHANE CONCENTRATION ON RENUCLEATION IN DIAMOND FILMS. journal1, 2016, 22(2): 114-118.

文章來源:《真空與低溫》雜志2016年22卷2期

刊出日期:2016-04-30

鏈接地址://www.lipcast.cn:81/zkydw/CN/abstract/abstract83.shtml


分享至 : QQ空間
0 人收藏
您需要登錄后才可以回帖 登錄 | 立即注冊

本版積分規則

快速回復 幸运和幸运快三开奖助手官方 返回列表