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快三开奖结果幸运快三: 新柯隆鍍膜機配置概覽

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發表于 2017-10-28 11:00:59 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
新柯隆鍍膜機配置概覽


1, 蒸發源:

電子槍:JEOL(穩定,價格貴,掃描光斑為方形)

(電壓:6KV,10KV;電源:6KW,10KW;電子槍:270 ,180 度;掃描控制器可?。?/strong>

PLSAMATEC(整流二極管易壞,掃描光斑為圓形)

ORIGIN(便宜,簡單穩定,只有單槍 180 度一種型號)


阻蒸:新柯隆自制(6KW 單坩堝,10KW 雙坩堝)鹵素燈阻蒸(只用于蒸發防水膜)

離子源:新柯隆自制

NIS-120 :口徑 120mm,最高電壓 1000V,電流 550A,陰極為鎢絲

NIS-175 :口徑 175mm,最高電壓 1200V,電流 1200A,空心陰極

霍爾源,僅在 VISION-1500 型上使用。離子源給氣:HORIBA 質量流量計

2, 真空機構:

低真空泵:EDWARDS E2W275油泵配EH1200羅茨泵(也有用GV160干泵替換E2W275

油泵的)(泵油每三個月更換一次,)

樫山 MU1203 型干泵(感覺比 EDWORDS 易發生故障)


高真空泵:新柯隆自制油擴散泵(使用 LION-S 油,因為無溫度監控,故不建議替換成其他品牌油)(油每六個月更換一次,泵沒 1 年維護一次)

愛發科低溫泵

EDWORDS、島津、大阪真空的分子泵

冷凍機:POLYCOLD、MAXCOOL、TELMARK

真空計:佳能愛內華電離真空計,SMC 皮拉尼真空計

APC 自動壓力控制:PCU-2100,INFICON VGC-401 潘寧真空計

新柯隆自制主閥及低閥,輔助閥(氣缸為 SMC 特制品)(密封圈每年更換一次)

開度可調慢抽氣、慢泄氣閥(SMC 特制品,專供新柯?。?/font>


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3, 動作機構:

補正板機構:新柯隆自制(密封圈每年更換一次,速度每年檢查一次)

傘架旋轉機構:新柯隆自制(磁流體密封約 5 年更換一次)

坩堝盤旋轉機構:新柯隆自制(點狀坩堝及環形坩堝)

蒸發源擋板機構:新柯隆自制(擋板位置和速度每年檢查一次)

4, 加熱機構:

加熱絲加熱:墻壁加熱,鍍膜傘加熱,光控加熱(溫度探頭固定需每年檢查一次)

鹵素燈加熱:主要用于鍍膜傘加熱,最高不到 85 度。(鹵素燈為耗材)

5, 膜厚控制單元:

水晶控制器:INFICON XTC-3(S)(水晶旋轉每年檢查一次)

光控:系統為新柯隆 SDC 系統(OPM-Z1  分為投光器電源,投光器,光纖,監控玻璃,受光器,OPM-Z1,PC-2 電腦幾個部
分。由于連接使用的是 RS-232 接口,不支持熱插拔,任何連接或者動作后,請重啟 OPM-Z1 PC-2。

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